ミカサ スピン コーター
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ミカサ スピン コーター. 仕様形 式回転塗布式 1ヘッド 試料サイズ φ8インチmax 試料固定方式 真空吸着固定式 回 転 数 0及び50～5,000 回転時間 最大999.9秒（1ステップ） 回転制御 プログラム方式・. ★ マスクアライナー（マスクアライメント装置） ミカサ製 ma-10型:. ★ スピンコーター ミカサ製 情報はお問い合わせ 下さい。.
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★ スピンコーター ミカサ製 型式：1h-360:. ★ スプレーコーター テックインテック製 型式ps-c610l:. 仕様 ・ 機能形式回転塗布式 1ヘッド試料サイズ10／／50／100／150mm基盤用※試料台はご選択になります。試料固定方式真空吸着固定式回転数0又は50-7000r．p．m回転時間最大999.9秒（1ステップ.
試料サイズ 最大4インチ 試料固定 真空吸着固定式 回転数 最大6000rpm 回転制御 プログラム方式 回転精度 ±1rpm(無負荷). ★ スピンコーター ミカサ製 情報はお問い合わせ 下さい。. スピンコーターの真空がつまった（試料の真空吸着が出来ない）場合の対処法は？ スピンコーターの使用上の一般的な注意点は？ 連続運転時の熱対策は可能か？ レジスト液が装置内部に入らない対策は可能か？.
スピンコーターのテンキーの色を白から黄色に順次変更しております。新しいテンキーの色はact-2aⅡの写真にてご確認ください。 スピンコーターの製品一部リニューアルのお知らせ スピンコーター製品の商品が一部変更となりました。. ミカサ製 ih-dx2 05年3月導入装置利用料金学内利用者 ¥1,250/h学外利用者 ¥2,000/h. ★ スピンコーター ミカサ製 情報はお問い合わせ下さい。.
設備利用 分類番号 試験項目 項目コード 中小料金 一般料金;. スピンコーター ミカサ社製 1H-DX2 遠心力を利用して、平滑基板表面にレジストなどを均一に塗布する。 4inchウエハまで取り付け可能。 スプレーコーター＆デベロッパ ナノテック社製 DC110. ISP:Isle Inc TLD:jp CountryCode:JP opticoat.co.jp 内容説明：ミカサ株式会社は、Opticoatブランドのスピンコーター、マスクアライナー（露光装置）、現像・エッチング装置、膜厚・線.
(ミカサ1H-D7 スピンコーター) (共和理研K-310P100Sマスクアライナー) 操作マニュアル 第1版 17年10月日 東京工業大学 メカノマイクロプロセス室 担当：宗片研究室 西沢（内線5178） nishizawa.n.ab@m.titech.ac.jp.
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